நிருபமுனி, தவமுனி, சரமுனி ஆகிய மூவரும் கடுந்தவம் மேற்கொண்டனர். சிவகணங்களில் ஒருவராகும் பேற்றைப் பெற்றார் நிருபமுனி. மற்றைய முனிகள் நற்கதி பெற்றனர். இவர்களின் தவத்தை கலைக்க முயற்சிகள் மேற்கொண்ட மன்மதன், தான் செய்த பிழைகளை பொறுத்து மன்னித்தருள வேண்டி, இங்கு தவம் மேற்கொண்டான். பிரத்யட்சமான இறைவன், அவனை மன்னித்து நற்கதி வழங்கினார் என ஸ்தல வரலாறு கூறுகிறது. ஆதி காலத்தில் வில்வ மரங்கள் மிகுந்திருந்த பகுதியாக இருந்ததால், வில்வ நல்லூர் எனப் பெயர் கொண்டு, காலப்போக்கில் மருவி வில்லியனூர் என்றானதாம். தேவார வைப்புத் தலம்.

மூலவர்: காமீஸ்வரர், அம்பாள்: கோகிலாம்பாள். மூலஸ்தானத்தில் சிவலிங்க வடிவினராக காமீஸ்வரர் எழுந்தருளியுள்ளார். இவருக்கு காமீஸ்வரமுடைய மகாதேவர் என்ற பெயரும் உண்டு. லிங்கபாணம் புற்று வடிவில் இருக்கின்றது. சாம்பிராணி தைலம் பூசுகின்றனர். மன்மதனுக்கு அருள் செய்ததால் காமீஸ்வரர் எனும் பெயர் கொண்டார். பங்குனி மாதம் 9, 10, 11 தேதிகளில் சூரியனின் ஒளிக்கதிர்கள் ஸ்வாமி மீது படர்ந்து சூரிய பூஜை செய்கின்றன. தெற்கு பார்த்த சந்நிதியில் அம்பிகை கோகிலாம்பாள் எழுந்தருளி அருள்பாலிக்கின்றாள். குயிலம்மை என்றும் அழைப்பர். ஆதிசங்கரர் பிரதிஷ்டை செய்த ஸ்ரீ சக்கரம் இருப்பதாக கூறப்படுகிறது. ஸ்தல விநாயகரான வலம்புரி விநாயகரையும் மற்றும் முத்துக்குமரர், சோமாஸ்கந்தர், பிரதோஷ நாயகர், பிட்சாடனர், நடராஜர், சூரிய-சந்திரர்கள், அறுபத்திமூவர் ஆகிய மூர்த்தங்களையும் தரிசிக்கலாம். மே-ஜூன் மாதங்களிடையே, பௌர்ணமியில் தொடங்கி 10 நாட்கள் விழா சிறப்புற நடக்கும். அதில் ஒரு நாள் தேரோட்டம். 15 மீட்டர் உயர தேரில் ஸ்வாமி பவனி வருவார்.