ஸ்தல வரலாறு: நிருபமுனி, தவமுனி, சரமுனி ஆகிய மூவரும் கடுந்தவம் மேற்கொண்டனர். நிருபமுனி சிவகணங்களில் ஒருவராகும் பேற்றைப் பெற்றார். மற்றைய முனிகள் நற்கதி பெற்றனர். இவர்களின் தவத்தைக் கலைக்க முயற்சித்த மன்மதன், தான் செய்த பிழைகளுக்காக மன்னிப்பு வேண்டி, இங்கு தவம் மேற்கொண்டான். பிரத்யட்சமான இறைவன் அவனை மன்னித்து நற்கதி வழங்கினார் என ஸ்தல வரலாறு கூறுகிறது. நரசிம்மர், பிரம்மன், ஆதிசேஷன், மன்மதன் ஆகியோர் வழிபட்ட ஸ்தலம் இது. ஆதி காலத்தில் வில்வ மரங்கள் மிகுந்திருந்த பகுதியாக இருந்ததால், 'வில்வ நல்லூர்' எனப் பெயர் கொண்டு, காலப்போக்கில் மருவி 'வில்லியனூர்' என்றானதாம்.

மூலஸ்தானத்தில் சிவலிங்க வடிவினராக காமீஸ்வரர் எழுந்தருளியுள்ளார். இவருக்கு 'காமீச்வரமுடைய மகாதேவர்' என்ற பெயரும் உண்டு. லிங்கபாணம் புற்று வடிவில் இருக்கின்றது. சாம்பிராணி தைலம் பூசுகின்றனர். மன்மதனுக்கு அருள் செய்ததால் 'காமீஸ்வரர்' எனும் பெயர் கொண்டார். தெற்கு பார்த்த சந்நிதியில் அம்பிகை கோகிலாம்பாள் எழுந்தருளி அருள்பாலிக்கின்றாள். இவரை 'குயிலம்மை' என்றும் அழைப்பர். ஸ்தல விநாயகராக வலம்புரி விநாயகரும், முத்துக்குமரரும், சோமாஸ்கந்தர், பிரதோஷ நாயகர், பிட்சாடனர், நடராஜர் ஆகிய மூர்த்தங்களையும் தரிசிக்கலாம். மே-ஜூன் மாதங்களிடையே, பௌர்ணமியில் தொடங்கி 10 நாட்கள் விழா சிறப்புற நடக்கும். அதில் ஒரு நாள் தேரோட்டம். 15 மீட்டர் உயர தேரில் ஸ்வாமி பவனி வருவார்.